il de guidage pour les MEMS

Problème: Pour s'assurer qu'ils ciblent les bonnes parties de la cornée pendant la chirurgie Lasik de correction de la vision, les médecins s'appuient sur un scanner qui répond aux mouvements des yeux et redirige les impulsions laser. Les scanners d'aujourd'hui coûtent des milliers de dollars et offrent toujours une précision loin d'être idéale.

Les miroirs circulaires taillés dans le silicium sont contrôlés par les mouvements de structures en forme de peigne. (Gracieuseté de Hyuck Choo)

Solution: À l'Université de Californie à Berkeley, des chercheurs du Microfabrication Laboratory ont utilisé des techniques peu coûteuses pour construire un scanner à micro-échelle qui se déplace jusqu'à 30 000 fois par seconde, contre 4 000 fois par seconde avec la technologie conventionnelle. Les étudiants diplômés Hyuck Choo et David Garmire ont inventé un moyen de sculpter un morceau de silicium en deux structures imbriquées en forme de peigne. L'application d'une tension à un peigne fait monter ou descendre l'autre. Un miroir fixé aux peignes redirige un faisceau laser. Alors que les entraînements à peigne sont déjà utilisés dans certains systèmes microélectromécaniques (MEMS), les peignes ont dû être construits sur des plaquettes de silicium séparées et calés ensemble manuellement. Parce que le nouvel appareil est facile à fabriquer, il ne s'agit pas seulement d'une étape incrémentielle, mais d'un développement majeur, explique Roger T. Howe, l'ingénieur électricien de l'Université de Stanford qui a inventé le moteur à peigne dans les années 1980. Choo dit que la technologie pourrait être intégrée à moindre coût dans les scanners chirurgicaux et autres appareils.

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